英微米表面微粒分析仪U-III该产品专为高洁净度制造场景设计，采用革命性激光传感技术与智能采样系统，可精 准检测0.1微米级表面颗粒污染，助力半导体、液晶面板及精密电子行业实现更高良率与可靠性。
核心技术原理
界面颗粒再悬浮技术?：采用先进界面技术，通过物理或气流方式将附着在关键表面的颗粒重新悬浮，便于后续检测。
高精度光学检测：基于激光光学传感器和光散射原理，实时捕获悬浮粒子的散射光信号，实现单个粒子尺寸的精确分析。
关键性能指标
分辨率达0.1微米，支持纳米级颗粒检测；
配备静态采样模式，提升测量精度和稳定性；符合ISO-14644-9表面粒子控制标准，满足半导体制造中对洁净度的严苛要求。
行业应用优势
减少50%以上的自净时间及颗粒数，缩短PM周期，提升制造效率；
通过实时监测表面污染，降低因颗粒导致的良率损失和可靠性风险；
适用于晶圆、光学元件、精密电路板等对洁净度敏感的生产环节。
系统集成设计
支持USB数据导出和软件升级，便于与工厂智能管理系统对接；
采用双电池热插拔设计，适应连续生产环境的需求。
该系列设备通过量化表面污染数据，为半导体制造中的过程控制提供标准化依据，从而优化生产良率和产品可靠性。
传感器：第七代双激光窄光检测器，寿命>200000次
测量粒径：A 0.3um、2.5um、10um；
B 0.3um、(0.5/1.0/2.5/5.0)um、10um；
C 0.3um、0.5um、1.0um、2.5um、5.0m、10um；
D 0.5um、1.0um、1.5um、2.0um、2.5um、3.0um；
E 0.5um、1.0um、3.0um、5.0um、10.0um、25.0um；
F 0.10um、0.2um、0.25um、0.5um、0.7um、1.0 μm;
粒径分布误差：≤±30%
浓度示值误差：≤±30%
重复相对偏差：≤±10%FS
重叠误差：当每立方英尺2,000,000个粒子时小于5%
气体检测：可同时检测气体浓度，支持1-3个各种类型的气体传感器
温度范围：-40 ～ 120℃
检定标准：计数报告符合GB/T16292-1996及ISO14644-1标准或GB/T6167-2007 JJF1190-2008
气泵流速：2.83L/min，28.3L/min（可选）；
采样时间：3、6、9、12、15、30、60秒（可选）；
检测模式：数量模式；质量模式； 净效模式；三种检测模式可切换
检测方式：定时检测、循环检测可设置
报警方式：自定义数量报警值、质量报警值
限值报警：RS485信号报警或外接声光报警器
法 规 性：权限管控、审计追踪、电子记录等
来源：英微米光电(武汉)有限公司
来源链接：https://www.instrument.com.cn/netshow/SH119044/C602959.htm
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